低溫等離子體凈化法低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)以后的物質(zhì)第四態(tài),當外加電壓到達氣體的放電電壓時,氣體被擊穿,發(fā)生包含電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中盡管電子溫度很高,但重粒子溫度很低,全部系統(tǒng)呈現(xiàn)低溫狀況,所以稱為低...
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